特許
J-GLOBAL ID：200903090634173484
多層光学干渉薄膜の膜厚制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 文男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362095
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174628
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】【課題】 多層光学干渉薄膜の膜厚制御方法において、光電式膜厚制御法では高精度な膜厚制御が困難な、透過率もしくは反射率の変化量が小さい場合でも正確な膜厚制御を行なおうとする。【解決手段】 多層光学干渉膜を基体上に形成する際に用いられる膜厚制御方法において、光電式膜厚制御と水晶振動子による膜厚制御とを組み合わせて行う。すなわち、光電式膜厚制御では高精度な膜厚制御が困難となる層の構成の場合に、水晶振動子による膜厚制御を行い、あるいは光電式膜厚制御と水晶振動子による膜厚制御とを交互に行うものである。
請求項（抜粋）：
多層光学干渉膜を基体上に形成する際に用いられる膜厚制御方法において、光電式膜厚制御と水晶振動子による膜厚制御とを組み合わせて行うことを特徴とする多層光学干渉薄膜の膜厚制御方法
Fターム (5件)：
2H048GA04
, 2H048GA13
, 2H048GA34
, 2H048GA55
, 2H048GA60
