特許
J-GLOBAL ID：200903090636303466
静電チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-038072
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252253
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 被吸着物の落下及び割損等を生じることなく、吸着力の消滅後直ちに試料を離脱することができる静電チャックを提供すること。【構成】 冷却板12上の略中央には導電体2を絶縁膜3で被覆した試料台1が配置されており、試料台1は試料台押さえ11にて冷却板12に固定されている。冷却板12に形成された空間部22には基部材5が配設されており、空間部22から試料台1に形成された穴21,21 ...にわたって基部材5の端部に立設されたリフトピン4,4...が挿入されている。基部材5はガイド23に挿入された上側支持棒61に支持されおり、上側支持棒61はバネ8を介して下側支持棒62と接続されており、下側支持棒62の下端に配設された支持板25と冷却板12とはベローズ24にて接続されている。支持板25はステッピングモータ26に連接しロードセル9が配設された昇降軸27に接続している。一方ロードセル9はアンプ101 ,演算器102 及びドラバ103 を備える制御装置10に接続されている。
請求項（抜粋）：
絶縁膜を被覆した導電体と被吸着物との間に印加した直流電圧にて吸着力を発生して前記被吸着物を吸着すべく構成してあり、前記被吸着物を前記導電体から離脱する離脱手段を備えた静電チャックにおいて、弾性力を利用して前記被吸着物に前記導電体から離脱する方向へ、前記吸着力より弱い力を付与する離脱力付与手段と、前記被吸着物に付与されている力を検出する手段とを備え、前記吸着力が消滅後直ちに前記被吸着物を前記導電体から離脱すべくなしてあることを特徴とする静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H01L 21/302
, H02N 13/00
