特許

J-GLOBAL ID：200903090638286895

コイルモジュール、コイルユニット、リニアモータ、ステージ装置及び露光装置

発明者： 谷村 尚
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-159313
公開番号（公開出願番号）：特開2006-340433
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：

【課題】 整列配置させるコイルの数に関わらず、容易に複数のコイルの位置決めが可能であり、また、容易にコイル冷却媒体用流路を形成することが可能なコイルモジュール等を提案する。 【解決手段】 コイル体131と、コイル体131を保持する保持部材132とを備えるコイルモジュール130であって、保持部材132は、コイル体131を保持する保持部133と、隣り合う他のコイルモジュール130に相互に連結する連結部134と、を有する。 【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

コイル体と、該コイル体を保持する保持部材とを備えるコイルモジュールであって、 前記保持部材は、前記コイル体を保持する保持部と、 隣り合う他のコイルモジュールに相互に連結する連結部と、 を有することを特徴とするコイルモジュール。

IPC (4件)：

H02K 41/02 ,  G03F 7/20 ,  H02K 41/03 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H02K41/02 A ,  G03F7/20 521 ,  H02K41/03 A ,  H01L21/30 503A

Fターム (20件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5H641BB03 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB17 ,  5H641BB18 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641HH03 ,  5H641HH04 ,  5H641JA09 ,  5H641JB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• リニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-208960   出願人：キヤノン株式会社