特許
J-GLOBAL ID：200903090641286170
磁気記録媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 馨 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120955
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316083
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【構成】 走行するベースフィルム2上に鉄系磁性層を形成するに際し、窒素、酸素及び炭素の少なくとも一つを含むガスを導入しつつFe-N、Fe-N-O、Fe-C、Fe-C-O、Fe-N-C-O系の磁性膜を形成するための、磁気記録媒体の製造方法。鉄源となるルツボ6の上方には、Al2O3、MgO、BN、セラミックスなどの高融点物質からなる高比熱体10が配置され、電子銃12からの電子ビーム照射によって強熱される。ガスはこの高比熱体へと通気ノズル13から導入され、ガス中の原子はプラズマ化されて鉄蒸気との反応性が高められる。【効果】 窒素原子が均一に分布した鉄系の磁性膜を得ることができ、従来よりも高い保磁力と高い飽和磁束密度を実現できる。
請求項（抜粋）：
走行するベースフィルム上に鉄系磁性層を形成するに際し、窒素、酸素及び炭素の少なくとも一つを含むガスを導入しつつ製膜を行う磁気記録媒体の製造方法において、高融点物質からなり強熱された高比熱体を前記ガスに接触させることにより前記ガス中の原子をイオン化することを特徴とする、磁気記録媒体の製造方法。
IPC (4件)：
H01F 41/20
, C23C 14/24
, C23C 16/50
, G11B 5/85
H01F 41/20
, C23C 14/24 P
, C23C 16/50
, G11B 5/85 A
