特許

J-GLOBAL ID：200903090642292891

石英ガラス治具の製造方法及び石英ガラス治具

発明者： 佐藤 龍弘
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-115825
公開番号（公開出願番号）：特開2004-323246
出願日： 2003年04月21日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】半導体工業界で使用される石英ガラス治具に対して、低コストで簡便かつ確実に、表層クリーン度を向上させることができる石英ガラス治具の製造方法及び表層クリーン度の向上した石英ガラス治具を提供する。【解決手段】石英ガラス素材から火加工を含めた処理によって所望の形状に加工され、歪取りアニール処理を施した後、洗浄処理され製品化される石英ガラス治具の製造方法において、前記歪取りアニール処理後であり且つ前記洗浄処理前に、前記石英ガラス治具の表層に、気相エッチング工程と気相純化工程を実施するものであって、前記気相エッチング工程の後、連続して前記気相純化工程を実施するようにした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

石英ガラス素材から火加工を含めた処理によって所望の形状に加工され、歪取りアニール処理を施した後、洗浄処理され製品化される石英ガラス治具の製造方法において、前記歪取りアニール処理後であり且つ前記洗浄処理前に、前記石英ガラス治具の表層に、気相エッチング工程と気相純化工程を実施するものであって、前記気相エッチング工程の後、連続して前記気相純化工程を実施することを特徴とする石英ガラス治具の製造方法。

IPC (3件)：

C03C15/00 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06

FI (4件)：

C03C15/00 A ,  C03B20/00 F ,  C03B20/00 K ,  C03C3/06

Fターム (73件)：

4G014AH00 ,  4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB09 ,  4G059AB11 ,  4G059AC24 ,  4G059AC30 ,  4G059BB01 ,  4G062AA01 ,  4G062BB02 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DB02 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA02 ,  4G062EB01 ,  4G062EB02 ,  4G062EC01 ,  4G062EC02 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062EE01 ,  4G062EE02 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FB01 ,  4G062FB02 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH04 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH08 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH12 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM01 ,  4G062MM27 ,  4G062NN34

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 石英ガラス部材およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-198424   出願人：東芝セラミックス株式会社