静電櫛歯型揺動体装置、及びその作製方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-345029
公開番号（公開出願番号）：特開2006-154315
出願日： 2004年11月29日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】可動櫛歯状構造体と固定櫛歯状構造体の間の噛み合いアライメントを比較的容易に達成できる揺動体装置である。【解決手段】揺動体装置は、可動板と、可動板を支持基板に対して揺動可能に軸支する少なくとも1つの軸支部と、可動板から延びる可動櫛歯状構造体と、可動櫛歯状構造体と隔間して噛み合う位置に配置される固定櫛歯状構造体と、可動櫛歯状構造体と固定櫛歯状構造体との間に静電力を働かせて可動板を揺動・変位させる静電駆動手段を備える。可動板と、軸支部と、可動櫛歯状構造体と、固定櫛歯状構造体は、それぞれ、絶縁層106、113を挟んで電気的に分離された2層構造の第一及び第二の可動板107、108、2層構造の第一及び第二の軸支部109、110、第一及び第二の可動櫛歯層111、112、第一及び第二の固定櫛歯層114、115;116、117から成る。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

可動板と、可動板を支持基板に対して揺動可能に軸支する少なくとも1つの軸支部と、可動板から延びる可動櫛歯状構造体と、可動櫛歯状構造体と隔間して噛み合う位置に配置される固定櫛歯状構造体と、可動櫛歯状構造体と固定櫛歯状構造体との間に静電力を働かせて可動板を揺動・変位させる静電駆動手段を備え、前記可動板と、前記軸支部と、前記可動櫛歯状構造体と、前記固定櫛歯状構造体が、それぞれ、絶縁層を挟んで電気的に分離された2層構造の第一及び第二の可動板、2層構造の第一及び第二の軸支部、第一及び第二の可動櫛歯層、第一及び第二の固定櫛歯層から成ることを特徴とする揺動体装置。

IPC (4件)：

G02B 26/10 , B81B 3/00 , B81C 1/00 , B41J 2/44

FI (4件)：

G02B26/10 104Z , B81B3/00 , B81C1/00 , B41J3/00 D

Fターム (6件)：

2C362BA17 , 2H045AB38 , 2H045AB44 , 2H045AB73 , 2H045BA13 , 2H045DA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

光走査装置、その製造方法、その光走査装置を具備する画像形成装置、及び読取装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-039279 出願人：株式会社リコー

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