特許
J-GLOBAL ID：200903090650248435
ガス雰囲気試料ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305972
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133186
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 ガスの雰囲気に試料を浸漬した状態で収容セットされるガス雰囲気試料室を有する電子顕微鏡用の試料ホルダを提供すること。【解決手段】フレームと、このフレームに支持された電子線が通過する通路が設けられたブロックと、複数の電子線透過小穴及び該小穴をふさぐ薄膜を有し、前記ブロックの電子線通路に間隔を開けて固定される2枚のグリッドとを備え、該ブロックの電子線通路は、前記2枚のグリットによって挟まれたガス雰囲気試料室と、各グリッドの上側及び下側の2つのガス溜室とに区画され、前記ブロックには前記ガス雰囲気試料室に対してガスを供給、排気するための通路と、前記二つのガス溜室からガスを排気するための通路とが設けられていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
フレームと、このフレームに支持された電子線が通過する通路が設けられたブロックと、複数の電子線透過小穴及び該小穴をふさぐ薄膜を有し、前記ブロックの電子線通路に間隔を開けて固定される2枚のグリッドとを備え、該ブロックの電子線通路は、前記2枚のグリットによって挟まれたガス雰囲気試料室と、各グリッドの上側及び下側の2つのガス溜室とに区画され、前記ブロックには前記ガス雰囲気試料室に対してガスを供給、排気するための通路と、前記二つのガス溜室からガスを排気するための通路とが設けられていることを特徴とするガス雰囲気試料室を有する試料ホルダ。
Fターム (3件)：
5C001AA01
, 5C001BB03
, 5C001CC03
