水素化アモルファスカーボン膜形成方法、該膜を形成した気体動圧軸受、スピンドルモータ及び回転体装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細井勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-106980
公開番号（公開出願番号）：特開平11-292526
出願日： 1998年04月02日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：

【要約】【課題】水素化アモルファスカーボン(以下、DLCという)の膜を被処理体表面に形成するに当り、DLC膜を所望の部位に均一に形成すると共に、膜形成を容易にし、処理効率を向上させる。【解決手段】被処理体1と圧着体2との間にDLCの粉末3を供給し、圧着体2を被処理体1側に押圧しつつ擢動運動又は回転運動させてDLC粉末3をこすり付け、被処理体1表面に均一なDLC膜4を形成する。

請求項（抜粋）：

被処理体に水素化アモルファスカーボンを接触させた状態で圧着体又は被処理体に摺動運動又は回転運動を与え、この圧着体又は被処理体の摺動運動又は回転運動により被処理体に水素化アモルファスカーボンをこすり付け、被処理体に水素化アモルファスカーボン膜を形成するようにしたことを特徴とする被処理体への水素化アモルファスカーボン膜形成方法。

IPC (3件)：

C01B 31/02 101 , F16C 17/10 , F16C 33/12

FI (3件)：

C01B 31/02 101 Z , F16C 17/10 A , F16C 33/12 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-083480
特開昭58-126019
特開昭60-058841

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