特許
J-GLOBAL ID：200903090651081968
冷陰極電子源素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-337964
公開番号（公開出願番号）：特開平8-077916
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 低電圧駆動が可能でかつ高い放出電流が安定して得られ、冷陰極の加工性に優れ、素子の大面積化が可能な冷陰極電子源素子を提供する。【構成】 基板1上に冷陰極10を有する冷陰極電子源素子であって、冷陰極10は、冷陰極基材4中に、冷陰極10の厚さより十分小さい粒径で、仕事関数が冷陰極基材4の仕事関数よりも低い導電性材料の粒子8を分散させたものとする。
請求項（抜粋）：
冷陰極を有する冷陰極電子源素子であって、この冷陰極は、冷陰極基材と、この冷陰極基材中に分散含有され、仕事関数が前記冷陰極基材の仕事関数よりも低く、冷陰極の厚さより小さな粒径の導電性材料の粒子とを有し、この粒子は実質的に互いに分離された状態で分散されており、しかもこの粒子は前記冷陰極表面に露出している冷陰極電子源素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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