ハードディスク基板の研磨用組成物及びこれを用いた研磨方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-194957
公開番号（公開出願番号）：特開平10-036818
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：

【要約】【課題】研削速度を向上し、高精度、高品質な研磨面が得られるハードディスクの研磨用組成物を提供する。【解決手段】下記成分(A)〜(D)を含み、成分(B)研磨材の平均粒径が2.0μm以下であり、かつ、一次粒子状態に分散処理されてなるハードディスク基板の研磨用組成物。(A)水(B)研磨材(C)アルミニウム塩類及びニッケル塩類から選ばれる無機塩類(D)研削油全組成物の1〜10重量%

請求項（抜粋）：

下記成分(A)〜(D)を含み、成分(B)研磨材の平均粒径が2.0μm以下であり、かつ、一次粒子状態に分散処理されてなるハードディスク基板の研磨用組成物。(A)水(B)研磨材(C)アルミニウム塩類及びニッケル塩類から選ばれた無機塩類(D)研削油全組成物の1〜10重量%

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , B24B 37/00 , G11B 5/84

FI (4件)：

C09K 3/14 550 D , C09K 3/14 550 Z , B24B 37/00 H , G11B 5/84 A

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