特許
J-GLOBAL ID：200903090652841885
凹凸観測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169671
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058745
出願日： 1990年04月19日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】観測対象の平坦面に生成された皺などの凹凸を高精度に検査する。【構成】遮蔽体4と投光装置5と撮像装置6とから成る。遮蔽体4は被検査品3の表面上を覆うもので、被検査品3との間には微小間隙8が形成される。投光装置5は微小間隙8より遮蔽体4の内側へ板状光を照射する。撮像装置6は被検査品3の上方に配置され、対物レンズ14を遮蔽体4の内側に位置決めする。
請求項（抜粋）：
観測対象の平坦面に生成された凹凸を観測するための凹凸観測装置であって、遮蔽体と投光装置と撮像装置とを有し、前記遮蔽体は、観測対象の平坦面上を覆いかつ平坦面との間に微小間隙が生ずるよう配置され、前記投光装置は、前記遮蔽体の外側に前記微小間隙に向けて配置され、微小間隙より遮蔽体の内側へ板状光を前記平坦面と平行に照射することが可能であり、前記撮像装置は、観測対象の平坦面の上方に配置され、対物レンズを遮蔽体の内側に平坦面と対向させて位置決めされて成る凹凸観測装置。
IPC (5件)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G01N 21/89
, G06F 15/64
, G06F 15/64 320
