特許
J-GLOBAL ID：200903090655150123
圧力センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富村 潔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-082551
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307960
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 高い測定精度で測定可能でありかつ測定範囲が同じ従来の圧力センサよりも何倍も大きい圧力センサを提供する。【構成】 圧力センサは、マトリクス状に設けられ、圧縮歪みに依存する可変電気容量を決定するためにシリコン基板の上部における電気導体のパターン上に配置されたポリシリコン製ダイヤフラム11、12、13、14を備えている。これらのダイヤフラムは少なくとも2つの異なったサイズにて設けられ、同一サイズのダイヤフラムの多数の容量が1つのサブユニットに纏められる。その際、各サブユニットの基本容量はそれぞれ同じ大きさとなるようにされる。
請求項（抜粋）：
マトリクス状にダイヤフラム(11、12、13、14)が配置され、ダイヤフラムが設けられている面積に対するそれらの可変電気容量がこの面積のところの電気導体のパターンによって測定され、前記ダイヤフラムは少なくとも2つの異なったサイズにて設けられ、同一サイズの多数のダイヤフラムは電気導体の前記パターンによって1つのサブユニットに纏められ、その際その各サブユニットを構成するダイヤフラムの容量的に有効な面積の和は同じ大きさであることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, G01L 1/14
, H01L 29/84
