特許

J-GLOBAL ID：200903090655264498

レーザ光による欠陥検出方法

発明者： 八木 武人
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 堀田 実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096137
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292366
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 汚れと亀裂や穴等の被検査物を貫通する欠陥とを確実に区別するレーザ光による欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 被検査物1をレーザ光4により照射してその反射光を撮像素子5で撮像し、反射光を感知しない範囲がある場合、その範囲を穴や亀裂等の被検査物1を貫通する欠陥2と判定する。

請求項（抜粋）：

被検査物にレーザ光を照射し、その反射光を撮像素子で撮像し、反射光を感知しない範囲を被検査物を貫通する欠陥と判定することを特徴とするレーザ光による欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/89

FI (2件)：

G01N 21/88 J ,  G01N 21/89 610 B

Fターム (13件)：

2G051AA37 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051ED07 ,  2G051FA10