特許

J-GLOBAL ID：200903090665116624

ウェハ搬送用ホルダ

発明者： 藤野 直彦 ,  笹井 寛
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-153183
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343378
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：

【要約】【目的】 ウェハ表面とウェハ搬送用架体との直接接触を避け、直接接触に伴うウェハ表面への傷付き、磨耗粉の発生、あるいはウェハ搬送用架体の溝側面からウェハへのダストの移着を防止する。【構成】 少なくともウェハ搬送用架体1の溝2に接触する部分がウェハ3の直径より大きな直径を有し、上記ウェハの裏面と接してウェハを保持し、上記ウェハ搬送用架体の溝に挿入保持される。

請求項（抜粋）：

少なくともウェハ搬送用架体の溝に接触する部分がウェハの直径より大きな直径を有し、上記ウェハの裏面と接してウェハを保持し、上記ウェハ搬送用架体の溝に挿入保持されるウェハ搬送用ホルダ。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-068930
  
• 特開昭63-043327