特許

J-GLOBAL ID：200903090666736286

縦型ボート

発明者： 田中 隆 ,  吉川 淳 ,  外谷 栄一 ,  北沢 厚男 ,  目黒 和教
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-339553
公開番号（公開出願番号）：特開平6-168902
出願日： 1992年11月27日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、大きな寸法のウエハを積載して熱処理をしてもスリップが生じない縦型ボートを提供する。【構成】 複数の支持部材を縦方向に配列して、それらの支持部材に所定の間隔で形成された複数のスリットにそれぞれ複数の半導体ウエハを積載するための縦型ボートにおいて、支持部材を断面直線形状の実質的に平坦な板で構成し、比較的幅の広いスリットを数多く板幅の約2/3以上にわたって切り込んで形成し、支持部材の全体をほぼ櫛形にして、しかもスリットによって画成された支持アームの先端部分に支持突起を設けて、支持突起がウエハの外周縁部を超えてウエハの中央寄りの部分を支持する構成にしたことを特徴とする縦型ボート。

請求項（抜粋）：

複数の支持部材を縦方向に配列して、それらの支持部材に所定の間隔で形成された複数のスリットにそれぞれ複数の半導体ウエハを積載するための縦型ボートにおいて、支持部材を断面直線形状の実質的に平坦な板で構成し、比較的幅の広いスリットを数多く板幅の約2/3以上にわたって切り込んで形成し、支持部材の全体をほぼ櫛形にして、しかもスリットによって画成された支持アームの先端部分に支持突起を設けて、支持突起がウエハの外周縁部を超えてウエハの中央寄りの部分を支持する構成にしたことを特徴とする縦型ボート。

IPC (2件)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/31

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-017633