特許

J-GLOBAL ID：200903090668805730

化学増幅型レジスト組成物

発明者： 山岡 亜夫 ,  小関 健一 ,  小原 光晴 ,  清水 幾夫 ,  伊藤 幸良
出願人/特許権者： 協和醗酵工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-096173
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043633
出願日： 1993年04月22日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】 優れた感光性を有する化学増幅型レジスト組成物を提供する。【構成】 式(I)〔R1 、R2 ;置換もしくは非置換のアミノフェニル、9-ジュロリジル、Y=CH-(Y;置換もしくは非置換の含窒素複素環基)または(Z1 、Z2 ;置換もしくは非置換のフェニル)〕で表わされるスクアリリウム化合物と光酸発生剤とバインダーとを含有する化学増幅型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

式(I)【化1】〔式中、R1 およびR2 はそれぞれ同一もしくは異なって置換もしくは非置換のアミノフェニル、9-ジュロリジル、Y=CH-(式中、Yは置換もしくは非置換の含窒素複素環基を表わす)または【化2】(式中、Z1 およびZ2 は同一もしくは異なって置換もしくは非置換のフェニルを表わす)を表わす〕で表わされるスクアリリウム化合物と光酸発生剤とバインダーとを含有する化学増幅型レジスト組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/004 515 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  G03H 1/02 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 特開昭63-138345
  
• 特開昭63-142346
  
• 特開昭63-143537
  
• 特開平2-306247
  
• 特開平3-113449
  
• 特開平3-278059