位置合わせ機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294179
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151288
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ステージ上に着脱可能で、加工又は処理すべきウエハやレチクル等の基板を保持するホルダと、位置合わせを行うためホルダを固定して移動するステージを有する位置合わせ装置に関し、係合の安定性及び基準面の位置合わせ精度の向上を図りつつ、異なるホルダ間で処理センタとホルダのセンタとのずれを少なくすることができる位置合わせ装置の提供を目的とする。【構成】ホルダ14の背面の4隅に、それぞれ傾斜する側壁を有し、ステージ13の対応する位置に突出している球状の係合部13a〜13dが嵌め込まれる凹状の第1〜第4の係合部19a〜19dが形成され、第1の係合部19aは一の対角線の方向にあって円錐状を有し、第3の係合部19cは一の対角線の方向にあって、平面形状が長円状で、一の対角線に平行な方向に長円の長手方向が向き、第2及び第4の係合部19b,19dは他の対角線の方向にあって、第1の係合部19aの円錐の底部の円の直径と比較して大きい直径の円の底部を有する円錐状を有することを含み構成する。

請求項（抜粋）：

被処理体を保持する方形状のホルダと、該ホルダを保持し、位置合わせのために移動するステージとを有する位置合わせ装置であって、前記ホルダの背面の4隅に、それぞれ傾斜する側壁を有し、前記ステージの対応する位置に突出している球状の係合部が嵌め込まれる凹状の第1〜第4の係合部が形成され、前記第1の係合部は一の対角線の方向にあって円錐状を有し、前記第3の係合部は前記一の対角線の方向にあって、平面形状が長円状で、前記一の対角線に平行な方向に長円の長手方向が向き、前記第2及び第4の係合部は他の対角線の方向にあって、前記第1の係合部の円錐の底部の円の直径と比較して大きい直径の円の底部を有する円錐状を有する位置合わせ機構。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B23Q 3/18 , H01J 37/20 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 341 D , H01L 21/30 341 L

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