特許
J-GLOBAL ID：200903090672990216
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
金田 暢之
, 伊藤 克博
, 石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-379591
公開番号（公開出願番号）：特開2004-209707
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】同一の電気信号を駆動用圧電体に供給した時に、圧力室に作用する振動板として機能するガラス基板が一定の方向に変形するようにして、インク吐出性能を向上させる。【解決手段】ガラス基板10を、シリコン基板1のインク流路形成面(接合面9)に接合し、研磨により薄片化および平滑化した後、ガラスの軟化点以下の温度で熱処理して軟化させる。ガラス基板10は、圧力室7の上方位置において、自重で圧力室7の内側に向かって凸状に変形する。それから、ガラス基板10の上面に、下電極13、圧電体14、上電極15を成膜する。圧電体14が駆動されたときの変形方向は、ガラス基板10の初期変形状態(凸状部分10a)によって規制されて、一定の方向になる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
シリコン基板に、圧力室を含むインク流路となる溝を形成する工程と、
前記シリコン基板の前記溝が形成された面を覆うようにガラス基板を接合する工程と、
前記ガラス基板を薄片化する工程と、
前記ガラス基板を熱処理して軟化させ、前記溝の前記圧力室になる部分に対向する部分を、前記圧力室の内側に向かって凸状または凹状に変形させる工程と、前記ガラス基板の、前記溝の前記圧力室になる部分に対向する部分に、下電極、圧電体、および上電極を順次積層する工程とを含むインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF52
, 2C057AP22
, 2C057AP26
, 2C057AQ01
, 2C057AQ02
, 2C057BA05
, 2C057BA14
