特許
J-GLOBAL ID：200903090675135740
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法及びそれに使用するサンドブラスト用マスク
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-346034
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151428
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：
【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルの障壁をサンドブラスト法により形成する際に、加工時に静電気が発生しても、その静電気による悪影響を防止する。【解決手段】 基板11上に障壁材料層12を形成し、その上にサンドブラスト用マスク13を設けた後、そのサンドブラスト用マスク13を介してのサンドブラスト加工により障壁材料層12をパターニングする工程を含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、サンドブラスト用マスク13として導電性を有するものを用いる。このようなサンドブラスト用マスク13を使用することにより、加工時に静電気が発生しても、静電気による悪影響を受けないで、サンドブラスト加工を行うことができる。特に、電極が中央で分割されているパターンの場合、電極分割部付近における誘電体層のピンホール、障壁材料の残渣、電極の断線等の欠陥の発生を防止することができる。
請求項（抜粋）：
基板上に障壁材料層を形成し、その上にサンドブラスト用マスクを設けた後、そのサンドブラスト用マスクを介してのサンドブラスト加工により障壁材料層をパターニングする工程を含むプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法において、前記サンドブラスト用マスクとして導電性を有するものを用いることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
5C027AA09
, 5C040FA01
, 5C040GF02
, 5C040GF19
, 5C040JA02
, 5C040JA09
, 5C040JA12
, 5C040JA15
, 5C040JA17
, 5C040KA16
, 5C040KB17
, 5C040MA23
