特許
J-GLOBAL ID：200903090683592719
圧電アクチュエータ、並びに当該圧電アクチュエータを用いたマニピュレータ、光走査装置、光センサ装置、流量制御器、ステージ装置、焦点調整機構及び光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-151282
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338640
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 歪み変換素子に発生する内部応力を緩和させることにより圧電アクチュエータの縦方向変位量をより一層拡大させる。【構成】 積層型圧電素子1の両主面に正四角錘台状をした歪み変換素子11を接合し、歪み変換素子11と積層型圧電素子1の主面との間に空洞14を形成する。歪み変換素子11は積層型圧電素子1と同一平面形状を持ち、全体にわたって均一な板厚を有しており、中央部には平らな平坦部13が形成されている。圧電アクチュエータAにより駆動される被駆動物体6は、歪み変換素子11の平坦部13に接合する。
請求項（抜粋）：
圧電素子に歪み変換素子を接合し、歪み変換素子によって圧電素子の横歪み成分を縦方向変位に変換させるようにした圧電アクチュエータであって、前記歪み変換素子を圧電素子の主面との間に空洞が形成されるような形状に形成すると共に、前記歪み変換素子の板厚を均一にしたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (3件)：
H01L 41/09
, G02B 26/10 101
, B23Q 5/28
