特許
J-GLOBAL ID:200903090683883101

高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-293602
公開番号(公開出願番号):特開平5-105525
出願日: 1991年10月14日
公開日(公表日): 1993年04月27日
要約:
【要約】【目的】 熱伝導性に優れ、しかも色ムラ等を生じない均一な表面性状を有する窒化アルミニウム焼結体の提供。【構成】 窒化アルミニウム、イットリウム又はイットリウム化合物、及び炭素又は分解して炭素を生成する物質を含んでなる成形体を、非酸化性雰囲気中、成形体の含有する酸素を還元しつつ焼成して窒化アルミニウム焼結体を製造する方法において、上記成形体中の炭素成分及び酸素の含有量がそれぞれ0.5〜1.5重量%及び2以下重量%であるものを焼成して1100〜1700°Cの温度における成形体の炭素成分の含有量を0.15重量%以下とした後、次いでそれを焼成容器に収納し、1800°C以上の温度で焼成することを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
請求項(抜粋):
窒化アルミニウム、イットリウム又はイットリウム化合物、及び炭素又は分解して炭素を生成する物質を含んでなる成形体を、非酸化性雰囲気中、成形体の含有する酸素を還元しつつ焼成して窒化アルミニウム焼結体を製造する方法において、上記成形体中の炭素成分の含有量が0.5〜1.5重量%及び成形体の酸素量からイットリウム化合物が含有する酸素量を除いた酸素含有量が2重量%以下であるものを焼成して1100〜1700°Cの温度における成形体の炭素成分の含有量を0.15重量%以下とした後、次いでそれを焼成容器に収納し、1800°C以上の温度で焼成することを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
IPC (2件):
C04B 35/58 104 ,  C04B 35/58

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