特許
J-GLOBAL ID:200903090685041710

露光用レーザー光源

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-198121
公開番号(公開出願番号):特開2004-038051
出願日: 2002年07月08日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】オートフォーカス用レーザービームによって感光材料を感光させることがなく、そしてオートフォーカスの精度を高く保つことができる、構造の簡単な露光用レーザー光源を得る。【解決手段】複数のレーザーダイオードLD1〜7からそれぞれ出射したレーザービームB1〜7を、例えばコリメーターレンズ11〜17および集光レンズ20からなる集光光学系で集光した上でマルチモード光ファイバー30に結合させて合波する露光用レーザー光源において、複数のレーザーダイオードLD1〜7の中の少なくとも1つとして、画像露光用レーザービームとは異なる波長のレーザービームを発するものを設ける。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数のレーザーダイオードと、 1本のマルチモード光ファイバーと、 前記複数のレーザーダイオードからそれぞれ出射したレーザービームを集光した上で前記マルチモード光ファイバーに結合させる集光光学系とを備えてなり、前記マルチモード光ファイバーから出射したレーザービームが画像露光に用いられる露光用レーザー光源において、 前記複数のレーザーダイオードの中の少なくとも1つとして、画像露光用レーザービームとは異なる波長のレーザービームを発するものを備えたことを特徴とする露光用レーザー光源。
IPC (9件):
G03F7/20 ,  G02B3/00 ,  G02B6/42 ,  G03F9/02 ,  H01S5/022 ,  H01S5/024 ,  H01S5/323 ,  H04N1/036 ,  H04N1/113
FI (10件):
G03F7/20 505 ,  G02B3/00 A ,  G02B3/00 Z ,  G02B6/42 ,  G03F9/02 Z ,  H01S5/022 ,  H01S5/024 ,  H01S5/323 610 ,  H04N1/036 Z ,  H04N1/04 104Z
Fターム (43件):
2H037AA04 ,  2H037BA03 ,  2H037BA05 ,  2H037BA32 ,  2H037CA13 ,  2H037CA21 ,  2H037DA03 ,  2H037DA04 ,  2H037DA05 ,  2H037DA06 ,  2H097AA03 ,  2H097BA01 ,  2H097BB04 ,  2H097CA03 ,  2H097CA05 ,  2H097CA06 ,  2H097CA12 ,  2H097CA14 ,  2H097CA17 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA06 ,  5C051DB25 ,  5C051DB30 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07 ,  5C072AA03 ,  5C072DA07 ,  5C072DA08 ,  5C072HA02 ,  5C072HA10 ,  5C072JA02 ,  5C072XA03 ,  5F073AB02 ,  5F073AB27 ,  5F073AB28 ,  5F073BA07 ,  5F073CA07 ,  5F073EA07 ,  5F073EA24 ,  5F073EA29 ,  5F073FA06 ,  5F073FA24

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