特許
J-GLOBAL ID:200903090685041710
露光用レーザー光源
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-198121
公開番号(公開出願番号):特開2004-038051
出願日: 2002年07月08日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
【課題】オートフォーカス用レーザービームによって感光材料を感光させることがなく、そしてオートフォーカスの精度を高く保つことができる、構造の簡単な露光用レーザー光源を得る。【解決手段】複数のレーザーダイオードLD1〜7からそれぞれ出射したレーザービームB1〜7を、例えばコリメーターレンズ11〜17および集光レンズ20からなる集光光学系で集光した上でマルチモード光ファイバー30に結合させて合波する露光用レーザー光源において、複数のレーザーダイオードLD1〜7の中の少なくとも1つとして、画像露光用レーザービームとは異なる波長のレーザービームを発するものを設ける。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数のレーザーダイオードと、
1本のマルチモード光ファイバーと、
前記複数のレーザーダイオードからそれぞれ出射したレーザービームを集光した上で前記マルチモード光ファイバーに結合させる集光光学系とを備えてなり、前記マルチモード光ファイバーから出射したレーザービームが画像露光に用いられる露光用レーザー光源において、
前記複数のレーザーダイオードの中の少なくとも1つとして、画像露光用レーザービームとは異なる波長のレーザービームを発するものを備えたことを特徴とする露光用レーザー光源。
IPC (9件):
G03F7/20
, G02B3/00
, G02B6/42
, G03F9/02
, H01S5/022
, H01S5/024
, H01S5/323
, H04N1/036
, H04N1/113
FI (10件):
G03F7/20 505
, G02B3/00 A
, G02B3/00 Z
, G02B6/42
, G03F9/02 Z
, H01S5/022
, H01S5/024
, H01S5/323 610
, H04N1/036 Z
, H04N1/04 104Z
Fターム (43件):
2H037AA04
, 2H037BA03
, 2H037BA05
, 2H037BA32
, 2H037CA13
, 2H037CA21
, 2H037DA03
, 2H037DA04
, 2H037DA05
, 2H037DA06
, 2H097AA03
, 2H097BA01
, 2H097BB04
, 2H097CA03
, 2H097CA05
, 2H097CA06
, 2H097CA12
, 2H097CA14
, 2H097CA17
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DA06
, 5C051DB25
, 5C051DB30
, 5C051DC05
, 5C051DC07
, 5C072AA03
, 5C072DA07
, 5C072DA08
, 5C072HA02
, 5C072HA10
, 5C072JA02
, 5C072XA03
, 5F073AB02
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073BA07
, 5F073CA07
, 5F073EA07
, 5F073EA24
, 5F073EA29
, 5F073FA06
, 5F073FA24
前のページに戻る