特許

J-GLOBAL ID：200903090692727503

X線発生装置

発明者： 近藤 洋行 ,  神高 典明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-161782
公開番号（公開出願番号）：特開平9-017595
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】 従来よりも高強度のX線を輻射するプラズマを発生させるための励起エネルギービーム照射を行う前に、複数回の励起エネルギービーム照射により標的に空孔を形成する必要がなく、その結果、高繰り返しに高強度のX線を発生させることができるX線発生装置を提供すること。【構成】 励起エネルギービーム302を標的部材301に集光して照射することでプラズマ304を生成させ、該プラズマ304から輻射されるX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材301は、厚さが相対的に大きくて標的部材全体の自立機能を果たす第1形状部分Aと、厚さが相対的に小さくて前記励起エネルギービーム照射によるプラズマ発生機能を果たす第2形状部分Bと、を有することを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

励起エネルギービームを標的部材に集光して照射することでプラズマを生成させ、該プラズマから輻射されるX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材は、厚さが相対的に大きくて標的部材全体の自立機能を果たす第1形状部分と、厚さが相対的に小さくて前記励起エネルギービーム照射によるプラズマ発生機能を果たす第2形状部分と、を有することを特徴とするX線発生装置。