特許
J-GLOBAL ID：200903090694130580
熱処理炉
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318287
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160056
出願日： 1991年12月03日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：
【要約】【目的】温度制御部の信号と炉内温度との追従性を高めることによって熱処理炉の炉内温度の均一性及び再現性向上を図る。【構成】熱電対3の熱出力信号を記憶するメモリー機能を備えた温度比較機6を有し、マシンコントローラー5によりあらかじめセットされた熱出力信号と温度比較機6内に記憶された温度プロファイルとを比較し、その差分の出力信号を温度制御機4によりヒーター1に印加する機能と、さらにある所定時間前の炉内温度と現時点の炉内温度との差分を加重印加する機能とを有する。
請求項（抜粋）：
半導体装置製造用の熱処理炉において、加熱出力を一定としたときの時間の炉内温度との相関の値を記憶する温度メモリー機能と、「上記温度メモリー」と「所定時間と炉内温度プロファイルとの相関の値」との差分を所定時間先取りして加熱する機能と、上記温度メモリーと炉内温度プロファイルの所定時間前の値とを比較し、その差分を前記先取りした加熱量に追加する機能とを有することを特徴とする熱処理炉。
IPC (2件)：
前のページに戻る
