インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-234550
公開番号（公開出願番号）：特開2001-113712
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：

【要約】【課題】個別電極及び圧電素子を持つアクチュエータ部と、圧力室を持つ圧力室部品とを備えたインクジェットヘッドの製造方法において、その量産性を高めるようにする。【解決手段】小サイズの複数の基板20を用意し、それ等基板20上に、各々、個別電極材料21、圧電材料22、密着層材料23、振動板兼共通電極材料24、及び中間層材料25を順次成膜すると共に、大サイズの1個の基板30に複数の圧力室用開口部1を形成する。その後、前記成膜された複数の基板20の各振動板兼共通電極材料24と、前記圧力室用開口部1を形成した1個の基板30とを、電着により付着させた接着剤14で接着する。次いで、前記基板20上の個別電極材料21及び圧電材料22をエッチングして、各圧力室用開口部1の上方の所期の位置に個別電極3及び圧電素子10を分割個別化する。

請求項（抜粋）：

複数の基板を用意し、この各基板毎に、基板上に電極材料、圧電材料及び振動板材料を各々成膜し、積層する工程と、前記成膜後の複数の基板の前記各振動板材料と、これ等複数の基板の合計面積より広い面積を持つ圧力室形成用の圧力室部品とを接着する工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

Fターム (22件)：

2C057AF93 , 2C057AG15 , 2C057AG39 , 2C057AG40 , 2C057AG44 , 2C057AG52 , 2C057AG55 , 2C057AG85 , 2C057AG93 , 2C057AN01 , 2C057AP02 , 2C057AP21 , 2C057AP25 , 2C057AP32 , 2C057AP33 , 2C057AP51 , 2C057AP52 , 2C057AQ01 , 2C057AQ02 , 2C057AQ10 , 2C057BA03 , 2C057BA14

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