特許

J-GLOBAL ID：200903090702439560

形状可変鏡の制御法及び補償光学装置

発明者： 一ノ瀬 祐治
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-153299
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021964
出願日： 1994年07月05日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】レーザの波面歪を補正する補償光学装置で、制御速度を高速化する形状可変鏡の制御法により補償効率を高める。【構成】波面検出器で検出する波面傾きから形状可変鏡の駆動素子の指令値を決定する制御装置において、制御フローチャートにより制御し波面の平均値との差を少なくしフィードバック制御を構成する。また駆動素子の配列方向と検出する波面傾き方向を一致させ、波面の平均値を求める計算を簡略化する。さらに、任意に分割した波面毎の平均値あるいは駆動素子と縦横方向が同じ波面の平均値を求めその差を少なくする。

請求項（抜粋）：

ハルトマン方式あるいはシェアリング干渉方式等の波面の傾き分布を検出する波面検出器とミラーの後面に複数の駆動素子を設け上記駆動素子を制御することにより波面を操作する形状可変鏡と上記波面の傾き分布から上記形状可変鏡の駆動素子への指令値を決定する制御装置とから成るレーザビーム及び光の波面歪を補正する補償光学装置において、上記波面の傾き分布から上記レーザビーム及び光の波面の平均値を求め上記駆動素子値の個々が位置する領域の波面の値と上記平均値から上記駆動素子の個々の指令値を決定することを特徴とする形状可変鏡の制御法。