特許
J-GLOBAL ID：200903090708263596
搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255892
公開番号（公開出願番号）：特開平7-109024
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 真空容器の容積を小さくすると共に、発塵および放出ガスの原因となり、また高価なシール材を不要にする。【構成】 真空容器11内に、被搬送物13を載置するアーム15が取り付けられた浮上体12を設け、真空容器11の上側に、浮上体12を磁気浮上させるための電磁石26を有するキャリア25を設ける。ボールねじ19によってキャリア25を前後動させることによって浮上体12およびアーム15を前後動させ、モータ17によってキャリア25を回転させることによって浮上体12およびアーム15を回転させ、複数の電磁石26の励磁電流を制御することによって浮上体12を傾け、アーム15を上下動させる。
請求項（抜粋）：
内部が真空状態にされる真空容器と、この真空容器内に収納され、磁気的吸引力によって浮上する浮上体と、一端が前記浮上体に固定され、他端に被搬送物を載置する載置部を有するアームと、前記真空容器の外側に設けられ、前記浮上体を浮上させるための電磁石を有するキャリアと、このキャリアを前記アームの軸方向に沿って移動させることによって前記浮上体およびアームを軸方向に移動させる軸方向移動手段と、前記キャリアを回転させることによって前記浮上体およびアームを回転させる回転方向移動手段と、前記電磁石を制御して前記浮上体を傾斜させることによって前記載置部を上下動させる上下方向移動手段とを具備することを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 54/02
, B65G 49/07
, H01L 21/68
