特許

J-GLOBAL ID：200903090710916092

片面鏡面ウェーハ

発明者： 谷口 徹 ,  吉田 文彦 ,  小野 五十六
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-054804
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244159
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 ウェーハ裏面が、ウェーハ表面と識別可能でかつ高光沢度で、またピット間には平坦部が存在しない片面鏡面ウェーハを提供する。【解決手段】 表面が鏡面のウェーハの裏面は、光沢度を鏡面の60〜95%とし、裏面のピットの幅を10〜50μmとし、かつ、ピット間に平坦な部分が存在せず、隣接するピット同士が連続している。ウェーハ裏面として識別可能で、かつ高光沢度とする。鏡面ウェーハの平坦度が高まり、裏面にごみが付着しにくい。ウェーハを吸着する静電チャックからのウェーハの離脱が容易となる。スラリーを供給しながら、上定盤および下定盤の間で、キャリアプレートをそのプレートの表面と平行な面内で運動させる。ウェーハ両面が研磨布研磨される際、研磨布の一方を、他方の研磨布とはウェーハの沈み込み量が異なるものとし、スラリーをpH10〜11.4とした。無サンギヤ式両面研磨装置を使って、簡単にウェーハ表面を鏡面とし、裏面を高光沢度の梨地面にできる。

請求項（抜粋）：

一面が鏡面で、他面が複数のピットを有する片面鏡面ウェーハであって、上記他面の光沢度は一面の光沢度の60〜95%で、そのピットの幅は10〜50μmで、これらピット間には平坦な部分が存在せずにピット同士が連続している片面鏡面ウェーハ。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 621

FI (5件)：

H01L 21/02 B ,  B24B 37/00 C ,  B24B 37/04 F ,  B24B 37/04 C ,  H01L 21/304 621 A

Fターム (7件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA11 ,  3C058AB01 ,  3C058CB04 ,  3C058DA06 ,  3C058DA18