特許
J-GLOBAL ID：200903090717103569
カラーフィルタ等の検査装置及びその検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
西森 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-285473
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110307
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルタの表面のゴミ等の異物とピンホールだけを検出し、裏面のゴミ等の異物は検出しないようにして検査精度を向上する。【構成】 カラーフィルタ1の表面の反射光を第1CCDセンサー8で受光して第1検出手段41に送る。この第1検出手段41でカラーフィルタ1の表面のゴミ等の異物36を暗欠陥として判断検出する。またカラーフィルタ1の透過光を第2CCDセンサー6で受光して第2検出手段42に送る。この第2検出手段42によりカラーフィルタ1のピンホール35を明欠陥として判断検出する。これにより従来のようにカラーフィルタ1の裏面に付着したゴミ等の異物36の誤検出を防止できる。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタ等の被検査物(1)の表面側に設けた光源(2)と、この光源(2)から上記被検査物(1)の表面にて反射させた反射光を受光する第1センサー(8)と、この第1センサー(8)の出力からゴミ等の異物(36)を暗欠陥として判断検出する第1検出手段(41)と、上記光源(2)から被検査物(1)を透過した透過光を受光する第2センサー(6)と、この第2センサー(6)の出力からピンホール(35)等を明欠陥として判断検出する第2検出手段とを備えたことを特徴とするカラーフィルタ等の検査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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