パターンサーチ方法及びパターンサーチ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-298736
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124281
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】テンプレートが極細の形状や極小の形状を持っていて縮小が困難な場合でも処理の高速化を図れるようにする。【解決手段】テンプレート全体を縮小せず、テンプレート106を分割し、その中でも特にテンプレートの特徴をあらわしている代表領域107を選択し、その代表領域107を用いてパターンサーチを行う。また、テンプレートの分割された領域において、各領域毎にマッチング処理を行うが、分割されたテンプレートが観察画像上よりはみ出す位置にある場合、領域毎にマッチング対象に含めるか否かを判定する。

請求項（抜粋）：

テンプレートを用いてパターンサーチを行うパターンサーチ方法において、前記テンプレートの一部の領域のパターンを用いてパターンマッチングを行う第1のステップと、前記第1のステップで検出された位置において、前記テンプレート全体を用いてパターンマッチングを行う第2のステップとを含むことを特徴とするパターンサーチ方法。

IPC (3件)：

H01L 21/66 , G01B 11/24 , G06T 7/00

FI (3件)：

H01L 21/66 J , G01B 11/24 F , G06F 15/62 405 C

Fターム (21件)：

2F065AA54 , 2F065BB02 , 2F065CC19 , 2F065FF04 , 2F065JJ03 , 2F065PP24 , 2F065QQ31 , 2F065RR07 , 2F065SS02 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA50 , 4M106CA70 , 4M106DB05 , 4M106DB20 , 4M106DB21 , 4M106DJ14 , 5B057CC03 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DC34

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