特許
J-GLOBAL ID：200903090725677507
干渉測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300789
公開番号（公開出願番号）：特開平8-159709
出願日： 1994年12月05日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 干渉像が非常に暗い画像となるような被検物を測定する場合においても、十分な測定精度が得られ、また位相計算の誤差の低減を、高速に行なう。【構成】 光源1と、光源1から射出する光から参照光束と被検光束とを作りだす光学系3と、参照光束と被検光束との位相を相対的に変化させる位相可変部5と、参照光束と被検光束とを干渉させる干渉光学系3と、干渉光学系3によって干渉された干渉光束を観察する画像読み取り部6と、画像読み取り部6からの画像信号を入力し、画像信号を基に位相を測定する演算部11と、を有する干渉測定装置において、位相可変部5は、少なくとも一回のフリンジスキャンを行い、フリンジスキャンによって 画像読み取り部6で読み取られる複数の画像信号のうち、時間的に連続する少なくとも2つの画像信号を加算する加算部20を有し、演算部11は、加算部20で加算された画像信号を基に位相を測定する。
請求項（抜粋）：
光源と、光源から射出する光から参照光束と被検光束とを作りだす光学系と、前記参照光束と前記被検光束との位相を相対的に変化させる位相可変部と、前記参照光束と前記被検光束とを干渉させる干渉光学系と、前記干渉光学系によって干渉された干渉光束を観察する画像読み取り部と、前記画像読み取り部からの画像信号を入力し、該画像信号を基に位相を測定する演算部と、を有する干渉測定装置において、前記位相可変部は、少なくとも一回のフリンジスキャンを行い、前記フリンジスキャンによって 前記画像読み取り部で読み取られる複数の画像信号のうち、時間的に連続する少なくとも2つの画像信号を加算する加算部を有し、前記演算部は、前記加算部で加算された画像信号を基に位相を測定することを特徴とする干渉測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (6件)
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特開平4-038410
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特開平1-187406
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特開昭60-055215
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審査官引用 (2件)
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