特許

J-GLOBAL ID：200903090727630354

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー

発明者： 塩谷 浩一 ,  北澤 正志 ,  佐藤 健志 ,  戸田 明敏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-119174
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310883
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 軽くて剛性のある探針部をもち、位置合わせが容易であって安定して高い分解能での測定の可能な走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーを提供する。【解決手段】 支持部と、該支持部より伸びたレバー部1と、該レバー部の自由端に設けた探針部2とを備えて走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、探針部を、前記レバー部の自由端に形成したV字状切れ込みの異なる二辺3,4をそれぞれ一辺とした2つの三角形状の薄板5,6を形成し、該薄板を対向させてそれぞれの他の一辺を交えた構造に構成する。

請求項（抜粋）：

支持部と、該支持部より延びたレバー部と、該レバー部の自由端に設けた探針部とを備えた走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、前記探針部は、前記レバー部自由端に形成されたV字状の切れ込みの異なる辺をそれぞれ一辺とした2つの薄板を対向させ交わった形状で構成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  G01N 13/12 ,  G01N 13/14 ,  G01N 13/22

FI (4件)：

G01N 13/16 C ,  G01N 13/12 D ,  G01N 13/14 B ,  G01N 13/22 B