特許
J-GLOBAL ID：200903090733269183
マイクロ波プラズマ生成装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-028268
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214699
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 中心部にプラズマ密度の高い箇所が集中することのない、マイクロ波プラズマ生成装置を提供する。【解決手段】 石英等の誘電体材で構成したマイクロ波の導入窓4を有するマイクロ波プラズマ生成装置において、導入窓のマイクロ波導入側表面に生じる電解強度12に対応させて導入窓の板厚分布を変化させる。板厚分布の変化は、生成されるプラズマの濃度が導入窓の板面方向に均一となるように行ったり、生成されるプラズマの濃度が導入窓の板面方向にみて導入窓の周辺部において高くなるように行うことができる。
請求項（抜粋）：
石英等の誘電体材で構成したマイクロ波の導入窓を有するマイクロ波プラズマ生成装置において、導入窓のマイクロ波導入側表面に生じる電解強度に対応させて導入窓の板厚分布を変化させたことを特徴とするマイクロ波プラズマ生成装置。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
H05H 1/46 B
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
