特許
J-GLOBAL ID：200903090735240972
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229551
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066116
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 塗布液の飛散を防止するための容器のトップリングの裏側まで自動洗浄できる洗浄機能を備えた塗布装置を提供する。【構成】 容器(外カップ23,内カップ24)洗浄の際、スピンチャック20に洗浄用治具50を装着し、洗浄液供給ノズル40から洗浄液Lを供給する。洗浄液Lは、スピンチャック20の回転に伴う遠心力により、洗浄用治具50の貯溜部51の周縁部に集められ吐出孔52から高速で吐出する。このとき洗浄用治具50の周縁下部に設けた案内部材53が遠心力により洗浄用治具50の外側に突出し、吐出孔52から吐出された洗浄液Lを上方へ飛散させる。洗浄用治具50の径寸法は容器の開口部36の径以下に制限されるが、案内部材53を洗浄用治具50の外側に突出させ、洗浄液Lを当てて上方へ飛散させることで、容器の開口部周縁のトップリング37の裏側にまで洗浄液Lを均一に散布して効率良く洗浄を行うことができる。
請求項（抜粋）：
被塗布体を保持して回転する回転保持手段と、この回転保持手段を取り囲むように設けられ、上記被塗布体に供給された塗布液の飛散を防止するための容器とを有する塗布装置において、上記容器を洗浄する際に上記回転保持手段に装着され、上記容器に付着した塗布液を洗浄除去するための洗浄液が供給される洗浄用治具を備え、この洗浄用治具は洗浄液を貯溜し得る貯溜部と、上記回転保持手段の回転により上記貯溜部の洗浄液を上記容器へ向けて吐出する吐出孔と、上記回転保持手段の回転による遠心力で治具の外側に突出して上記吐出孔からの洗浄液を上方へ飛散させる案内部材とを有することを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, G03F 7/16 502
, H01L 21/304 341
