特許
J-GLOBAL ID：200903090736343384
被処理体の緩衝装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-300258
公開番号（公開出願番号）：特開平8-139157
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：
【要約】【目的】 待機中の被処理体を不活性ガス雰囲気で被うようにした被処理体の緩衝装置を提供する。【構成】 搬送されてきた被処理体Wを一時的に待機させるために処理装置4の前段に設けられる被処理体の緩衝装置2において、被処理体を収容する待機用容器28内に、被処理体を載置して昇降する載置台20を設け、この容器の上端開口部を開閉する蓋体32を設ける。そして、被処理体を容器内に収容した状態で不活性ガス供給手段42から窒素ガス等の不活性ガスを供給して容器内を不活性ガス雰囲気に維持し、被処理体の表面の自然酸化を防止する。
請求項（抜粋）：
搬送されてきた被処理体を一時的に待機させるために処理装置の前段に設けられる被処理体の緩衝装置において、単数或いは複数の被処理体を収容し得る大きさの待機用容器と、前記単数或いは複数の被処理体を載置するために前記待機用容器内に昇降可能に設けられた載置台と、前記待機用容器の上端開口部を開閉可能に被う蓋体と、前記待機用容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記載置台と前記処理装置との間で被処理体の受け渡しを行なう搬送機構とを備えるように構成したことを特徴とする被処理体の緩衝装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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