測長装置および測長補正装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-168844
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356509
出願日： 1999年06月15日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
要約：

【要約】【課題】稼働部分が揺動しても測定誤差を生じさせないこと。【解決手段】この測長装置100では、回折格子102を稼働部分である位置測定対象Tに固定し、反射ミラー103〜105を位置測定対象T以外の部分に固定する。光源101の平行ビームは、回折格子102にて0次と±p次の回折光となり、反射ミラー103〜105により反射して、再び回折格子102に入射干渉する。この干渉光は、ハーフミラー106で取り出され、受光素子107により光電変換される。干渉信号は、処理部108にて処理される。回折格子102の特性上、位置測定対象TがY軸およびZ軸水平方向に揺動しても、測定誤差を生じさせない。

請求項（抜粋）：

コヒーレントな平行ビームを発する光源と、平行ビームの光軸上に位置すると共に稼働部分である位置測定対象に固定した回折格子と、回折格子の回折光を回折次数ごとに反射して回折格子に戻すと共に前記位置測定対象以外の部分に固定した反射手段と、を備え、回折格子による干渉光から測長を行うことを特徴とする測長装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 , G01B 11/02

FI (2件)：

G01B 11/00 G , G01B 11/02 G

Fターム (32件)：

2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065CC00 , 2F065DD02 , 2F065DD03 , 2F065DD11 , 2F065EE00 , 2F065FF16 , 2F065FF18 , 2F065FF48 , 2F065FF49 , 2F065FF51 , 2F065GG06 , 2F065GG12 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065LL35 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065NN19 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ25 , 2F065QQ33 , 2F065QQ51

引用特許：

審査官引用 (1件)

特許第2603305号

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