特許
J-GLOBAL ID：200903090740224390
画像露光装置における欠陥画素の特定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-136630
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318889
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 ミラーアレイデバイスを用いた画像露光装置において、故障してオン状態に固定された故障ミラー(欠陥画素)を特定する。【解決手段】 ミラーアレイデバイス13を構成する多数の微小ミラー20の全てをオフ方向に向けるための画像信号Sを制御回路30に入力し、その後、微小ミラー20を1つずつ順次レーザービームで走査し、オン方向に設けられた光検出器41の検出光量が増加したときに走査した微小ミラー20を、走査信号Sc に基づいて故障ミラー(欠陥画素)として特定する。
請求項（抜粋）：
感光材料を露光させる記録光を発する光源と、前記記録光を受ける位置において2次元アレイ状に配置された複数の微小ミラーおよびこれらの微小ミラーの各々の向きを独立に変えさせる駆動部を有し、入射した記録光を各微小ミラー毎に感光材料上に入射する第1の方向と入射しない第2の方向のいずれかに選択的に反射させるミラーアレイデバイスと、画像信号に応じて前記駆動部の動作を制御する制御回路と、前記ミラーアレイデバイスで反射して感光材料に向かう記録光を集光する結像レンズとからなる画像露光装置における欠陥画素の特定方法であって、(1) 前記制御回路に入力される前記画像信号を、前記ミラーアレイデバイスを構成する全ての微小ミラーに入射した光を前記第2の方向に反射せしめるための画像信号に設定し、(2) 前記光源の方向から前記微小ミラーを各別にかつ互いに平行に走査しうるレーザビームを用いて該各微小ミラーを順次走査し、(3) 前記第1の方向に反射される光の光路上において、前記各微小ミラーが該第1の方向に反射した前記レーザビームの光量を、対応する前記各微小ミラーごとに検出し、(4) 該検出された光量が増加したときに前記レーザービームで走査された微小ミラーを欠陥画素として特定することを特徴とする画像露光装置における欠陥画素の特定方法。
IPC (2件)：
G02B 26/08
, H04N 1/04 101
G02B 26/08 E
, H04N 1/04 101
