特許
J-GLOBAL ID：200903090752464671
外観検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-344077
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174712
出願日： 1993年12月18日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】検査対象物を撮像し、当該撮像して得られる画像に基づいて検査対象物の外観を検査する外観検査方法において、一段と簡易な構成によつて検査対象を検査する。【構成】カメラ12の周囲には実装基板2を照明する円形蛍光灯13と円筒形状のスリツト部材14と円筒形状の色フイルタ15が同軸上に配置されている。円形蛍光灯13から照射された光源光は光路aに沿つてスリツト部材14のスリツト14A及び色フイルタ15を介して実装基板2上の例えばチツプ部品3の電極3A又はフイレツト4において反射し、当該反射光は光路a′に沿つてカメラ12の光学系に入射する。この結果カメラ12は特に反射率の高い電極3A及びフイレツト4の反射光を全体撮像画像内において高輝度で撮像し、これを画像処理部20に送出する。
請求項（抜粋）：
検査対象物を撮像し、当該撮像して得られる画像に基づいて上記検査対象物の外観を検査する外観検査装置において、上記検査対象物に対して照明光を照射する光源と、上記光源から上記検査対象物に照射される上記照明光の光量及び又は照射方向を制御するスリツト部材とを具えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G01N 21/84
