荷電粒子線装置の収差補正方法および荷電粒子線装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019780
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219678
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】動的補正器の取り付け位置を調整し直すのは困難である。【解決手段】 3個の焦点補正コイル9および3個の非点補正器10から成る動的補正系を備え、偏向量の2乗および3乗に比例する3次収差や偏向量の2〜5乗に比例する5次収差を補正するように焦点補正コイル9および非点補正器10の各励磁電流を制御装置16により調整することにより、焦点補正コイル9や非点補正器10の取り付け位置を設定し直さなくとも、3次収差や5次収差を低減することができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線の偏向量の2乗および3乗に比例する3次収差と偏向量の2〜5乗に比例する5次収差とを、焦点補正コイルおよび非点補正器で構成される動的補正系により補正する荷電粒子線装置であって、補正すべき収差に関する焦点補正コイルおよび非点補正器の各々の個数を、各種の収差とそれらを補正するために必要な焦点補正コイルおよび非点補正器の数との関係を示す表1に基づいて決定し、前記動的補正系を構成する焦点補正コイルおよび非点補正器の各々の個数を前記表1に基づいて決定された個数以上としたことを特徴とする荷電粒子線装置。【表1】

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-281246
特開平3-295140
特開平3-289035

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