シリカ系被膜形成用塗布液および被膜付基材

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227116
公開番号（公開出願番号）：特開平6-073340
出願日： 1992年08月26日
公開日（公表日）： 1994年03月15日
要約：

【要約】【構成】特定の繰り返し単位を少なくとも有する1種または2種以上のポリシラザンと、シロキサン結合を有するケイ素化合物とを混合して形成されてなるシリカ系被膜形成用塗布液、およびポリシラザンとシロキサン結合を有するケイ素化合物とを含む塗布液を用いて形成されたシリカ系被膜を有し、該シリカ系被膜の窒素含有率が1重量%以下である被膜付基材。【効果】上記塗布液を基材上に塗布して得られた塗膜を乾燥後、500°C以下の温度で焼成することにより、窒素含有率が1重量%以下であるシリカ系被膜が得られ、このようにして得られた被膜は、被塗布面との密着性、機械的強度、耐アルカリ性などの耐薬品性に優れ、同時に緻密で耐クラック性に優れており、しかも被塗布面の凹凸を高度に平坦化することができる。

請求項（抜粋）：

下記一般式[I]【化1】(ただし、R1 、R2 およびR3 は、それぞれ独立して水素原子または炭素原子数1〜8のアルキル基である。)で表される繰り返し単位を少なくとも有する1種または2種以上のポリシラザンと、シロキサン結合を有するケイ素化合物とを混合して形成されてなるシリカ系被膜形成用塗布液。

IPC (3件)：

C09D183/16 PMM , C09D183/04 PMU , H01L 21/312

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平1-138108
特開平1-203476
特開平4-153283

全件表示

審査官引用 (8件)

特開平1-138108
特開平1-203476
特開平4-153283

全件表示

前のページに戻る