エネルギー照射装置及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：合田潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-044252
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262354
出願日： 1995年03月03日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】高速で光の利用効率が高いエネルギー照射装置及び方法を提供する。【構成】露光装置10は、レーザ発振器20、光学シャッタ22、結像レンズ24及び28、スクリーン26、垂直偏向装置30、水平偏向装置40、垂直移動装置50、液晶パネル60、及び制御装置70を含む。レーザ発振器20から射出した光ビームは、光学シャッタ22が開状態のときに通過し、結像レンズ24によって、スクリーン26上のスリット又はパターンを照射する。スリット又はパターンを通過した光は、結像レンズ28によって徐々に収束し、ガルバノ・ミラー32に入射する。ガルバノ・ミラー32は、ビームを垂直方向に所望の角度だけ偏向し、偏向されたビームはガルバノ・ミラー42に入射する。ガルバノ・ミラー42は、ビームを水平方向に所望の角度だけ偏向する。その後、ビームはステージ52上に配置された液晶パネル60の所望の位置に結像し、露光させる。

請求項（抜粋）：

平面上に配置された対象物にエネルギーを照射する装置であって、(a)エネルギー・ビームを発生する手段と、(b)前記エネルギー・ビームのスポットを前記平面上の第1の方向に所定の範囲において移動させる手段と、(c)前記対象物を前記平面上の第2の方向に移動させる手段と、(d)前記エネルギー・ビームのスポットを前記第2の方向に、前記手段(c)による移動量だけ移動させる手段と、を有する、エネルギー照射装置。

IPC (4件)：

G02B 26/10 , G02B 26/10 104 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1337

FI (4件)：

G02B 26/10 C , G02B 26/10 104 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1337

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭56-008110
特開昭55-153914
三次元立体造形装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-026255 出願人：新日本製鐵株式会社

全件表示

前のページに戻る