特許

J-GLOBAL ID：200903090767378224

プローブカード

発明者： 古川 忠明
出願人/特許権者： 株式会社 沖マイクロデザイン ,  沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-319015
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147063
出願日： 1998年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 ICテスタの一部として構成され、プローバ用マザーボードに装着されるプローブカードの着脱の改善を図る。【解決手段】 マザーボード5にプローブカード7を装着するポゴピン6′と、これに接触するピン13を磁石及び磁性金属を用いて構成し、プローブカード7とポゴピン6′との間を磁気で接着させる。

請求項（抜粋）：

プローバ用マザーボードにプローブカードを装着するポゴピンと、前記ポゴピンに接触する前記プローブカードのピンと、を磁石及び磁性金属を用いて構成し、前記プローブカードと前記ポゴピンとの間を磁力で接着させることを特徴とするプローブカード。

IPC (4件)：

G01R 31/28 ,  G01R 1/06 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01R 31/28 K ,  G01R 1/06 E ,  G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B

Fターム (21件)：

2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AA17 ,  2G011AC06 ,  2G011AC12 ,  2G011AF06 ,  2G032AA00 ,  2G032AB01 ,  2G032AD01 ,  2G032AE12 ,  2G032AF04 ,  2G032AG02 ,  2G032AK03 ,  2G032AL00 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD10 ,  4M106DD11 ,  4M106DJ33