特許

J-GLOBAL ID：200903090767576590

化学気相析出用の有機金属錯体および有機金属錯体溶液

発明者： 小林 一三 ,  中井 知章 ,  杉森 由章
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255592
公開番号（公開出願番号）：特開平5-132776
出願日： 1991年10月02日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【構成】 β-ジケトンであるジピバロイルメタン(DPMと略記)の金属錯体Ba(DPM)2をエタノールに溶解させて、この溶液中でエチレンジアミン(Enと略記)を反応させた後、エタノールを蒸発させて、固体の6配位化されたBa(DPM)2(En)を得る。この有機金属錯体をテトラヒドロフランに溶解した溶液を、CVD法の原料として用いて酸化物薄膜を製膜する。【効果】 β-ジケトネート金属錯体を用いて、固体状態で保存安定性に優れた有機金属錯体が得られる。これを溶媒に溶解させて信頼性に富む有機金属錯体溶液が得られる。CVD法において工程の安定化、生産性および製品品質の向上が図れる。複数種の有機金属化合物を同一の溶液に溶解させて、CVD法に供し、単一の気化装置で複合酸化物が得られる。

請求項（抜粋）：

β-ジケトネート金属錯体に、求核性化合物を配位させたことを特徴とする化学気相析出用の有機金属錯体。

IPC (2件)：

C23C 16/18 ,  C07F 3/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-115245
  
• 特開平3-037101
  
• 特開平3-115245
  
• 特開平3-037101