特許

J-GLOBAL ID：200903090768957325

円板状加工品を液体で処理する方法及び装置

発明者： バーント・パザー ,  ルドルフ・ヴェンクバウアー ,  ルードヴィク・ピヒルマイアー
出願人/特許権者： ワッカー・ケミトロニク・ゲゼルシャフト・フュア・エレクトロニク・グルントシュトッフェ・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-283940
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169730
出願日： 1994年10月25日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：

【要約】【目的】 加工品を搬送柵台から取り出したり又処理中に移動させたりする必要もなしに、円板状加工品を液体で処理する方法及び装置を提供する。また、装置からの有害な蒸気又はガスの放出を効果的に防止する。【構成】 気密に閉鎖可能な容器1の中で円板状加工品4を液体で処理する方法であって、搬送柵台3内に積み重ねられた加工品4は、閉鎖された容器1の中で供給された液体と接触させられ、液体が容器1から排出され、液体から発生した有害な蒸気又はガスは洗浄されて、溶解した状態で容器1から排出される。

請求項（抜粋）：

気密に閉鎖可能な容器内で円板状加工品を液体で処理する方法において、搬送柵台内に積層された加工品を密閉容器内に供給される液体と接触させ、液体を容器外に排出するとともに、液体から発生した有害な蒸気又はガスを洗浄して溶解した状態で容器外に排出することを特徴とする処理方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/08 ZAB