特許
J-GLOBAL ID：200903090769093537
光記録ディスク原盤のピット現像方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169018
公開番号（公開出願番号）：特開平6-012705
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、光記録ディスク原盤のピット・パターンを構成する各ピットの形状寸法が所定の値となるような現像方法を提供することを目的とする。【構成】 渦巻状経路をなして不連続的に感光されたフォトレジスト膜9を表面に被着しているガラス基板8をターンテーブル10に取り付けて回転させる。次いで、該フォトレジスト膜9上に現像液3を噴霧すると共に前記基板8にレーザ光2を入射させつつ該レーザ光2の一次回折光6の強度に応じた電気信号を検出する。該電気信号の時間に対する変化の割合が変化する湾曲点を基準とし、該電気信号の値が、該湾曲点での電気信号の値よりも所定の割合だけ大きい値に達したとき、前記フォトレジスト膜9と前記現像液3との接触を停止することによって、該フォトレジスト膜9に不連続的かつ渦巻列状にピットを形成するという構成とする。
請求項（抜粋）：
光記録ディスクの原盤を製作する過程における基板の平坦な一面上に塗布されたフォトレジスト膜に現像液を接触させ、該フォトレジスト膜にピットを形成する現像方法において、前記フォトレジスト膜を有する基板を回転させ、かつ、該フォトレジスト膜上に前記現像液を接触させるとともに、前記基板にレーザ光を入射させつつ該レーザ光の一次回折光の強度に応じた電気信号を検出し、該電気信号の時間に対する変化の割合が変化する変曲点を基準とし、該電気信号の値が、該変曲点での電気信号の値よりも所定の割合だけ大きい値に達したとき、前記フォトレジスト膜と前記現像液との接触を停止することを特徴とする光記録ディスク原盤のピット現像方法。
引用特許：
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