特許

J-GLOBAL ID：200903090771738065

静電チャック装置及び載置台

発明者： 手 塚 毅
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092949
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288857
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】 チャック本体の固定に使用される高分子接着剤又は低融点金属の露出部の腐食を防止し得ると共に処理の均一性を良好に維持しうる静電チャック装置及びこの装置を備えた載置台を提供する。【解決手段】 被処理物Wを吸着する際に電圧が印加される導電性膜25と、この導電性膜25を両面から挟み込む一対の絶縁性膜27a、27bと、を有するチャック本体16を備える。チャック本体16は高分子接着剤又は低融点金属26によって載置台4の表面4aに貼着され、チャック本体16の周縁位置において露出する高分子接着剤又は低融点金属26の露出部47は、フッ素系樹脂で形成された保護リング部材70によって処理室2の内部空間から気密に隔離される。保護リング部材70に形成されたボルト孔71に挿入される取付ボルト72によって保護リング部材70が処理室2の内部に固定される。

請求項（抜粋）：

被処理物を静電気力によって吸着保持するために、処理室の内部の載置台に設けられる静電チャック装置において、前記被処理物を吸着する際に電圧が印加される導電性膜と、この導電性膜を両面から挟み込む一対の絶縁性膜と、を有するチャック本体を備え、前記チャック本体は接着剤又は低融点金属によって前記載置台の表面に貼着され、前記チャック本体の周縁位置において露出する前記接着剤又は低融点金属の露出部は、フッ素系樹脂で形成された保護リング部材によって前記処理室の内部空間から気密に隔離され、前記保護リング部材にはボルト孔が形成されており、前記ボルト孔に挿入される取付ボルトによって前記保護リング部材が前記処理室の内部に固定されることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (3件)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

B23Q 3/15 D ,  H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D

Fターム (7件)：

3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA16 ,  5F031MA29 ,  5F031MA30 ,  5F031MA32