特許
J-GLOBAL ID：200903090772385280

電界放出型電子銃

発明者：
岡本 明彦

岡本 明彦 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094427
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283009
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 周辺の電位状態による影響がエミッタの位置により不均一になることを抑え、ビーム径を小さくする構造とすること。【解決手段】 該基板9上に設けた先鋭な円錐形状の複数のエミッタ4と、該エミッタ4の周辺にかつ前記基板9上に設けられている絶縁膜5と、該絶縁膜5上で前記エミッタ4の近傍に設けられている第1のゲート電極1と、前記基板9上で該第1のゲート電極1の周辺に設けられている第2のゲート電極2とを含み、前記エミッタ4の集合体を配したエミッタ領域E内の前記絶縁膜3上に設けた第3のゲート電極6を有している。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に設けた先鋭な円錐形状の複数のエミッタと、該エミッタの周辺にかつ前記基板上に設けられている絶縁膜と、該絶縁膜上で前記エミッタの近傍に設けられている第1のゲート電極と、前記基板上で該第1のゲート電極の周辺に設けられている第2のゲート電極とを含む電界放出型電子銃において、前記エミッタの集合体を配したエミッタ領域内の前記絶縁膜上に設けた第3のゲート電極を有していることを特徴とする電界放出型電子銃。
IPC (2件)：
H01J 1/30 ,  H01J 29/58
FI (2件)：
H01J 1/30 B ,  H01J 29/58 Z
引用特許：
審査官引用 (3件)

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