特許
J-GLOBAL ID:200903090773669958
金-錫合金めつき液
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐伯 憲生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-216465
公開番号(公開出願番号):特開平8-053790
出願日: 1994年08月09日
公開日(公表日): 1996年02月27日
要約:
【要約】【構成】本発明は金-錫合金めっき液において、錫源として有機酸の錫塩を用いることを特徴とする金-錫合金めっき液に関する。本発明の好ましい金-錫合金めっき液としては、シアン化第一金カリウム、有機スルホン酸の錫塩からなるものが挙げられ、これにpH緩衝成分、安定化材、酸化防止剤、錯化剤などを加え、溶液のpHが好ましくは3.0から9.0である金-錫合金めっき液を挙げることができる。【効果】めっき作業において常時一定の組成をもつ合金皮膜を得ることができる。被めっき材のレジストを損傷することなく、微細パターンを形成することができる。
請求項(抜粋):
金-錫合金めっき液において、錫源として錫の有機酸塩を用いることを特徴とする金-錫合金めっき液。
IPC (3件):
C25D 3/56
, H01L 21/52
, H01L 23/02
引用特許:
審査官引用 (22件)
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特公昭46-019523
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特開昭57-005887
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特開昭55-073887
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特開昭57-005886
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特開昭52-081032
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特開昭50-131821
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特開昭61-015992
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特開昭59-211562
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特開昭61-223194
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特開昭61-223194
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特開昭57-161081
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特開昭53-084829
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特開昭56-136994
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特開昭61-194194
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特開昭57-005887
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特開平2-254194
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特開昭56-116895
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特開昭55-107795
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特開昭53-034637
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特開昭57-161081
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特開昭56-116895
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特開昭56-075593
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