特許
J-GLOBAL ID：200903090776190025
ビームポジショナの制御方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-346880
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181077
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】 ビームポジショナの温度が変化した場合にビームポジショナの位置精度を向上させることができるビームポジショナの制御方式を提供することにある。【構成】 ガルバノメータのスキャンミラーをミラー駆動手段で駆動するビームポジショナにおいて座標データをD/A変換器20で変換した電圧信号21を制御部の増幅回路24で増幅してドライブ信号22として前記ミラー駆動手段に与えるビームポジショナの制御方式において、前記ビームポジショナの内部に配置され温度の変化によって抵抗が変化する温度センサー3と、前記ビームポジショナの内部の温度が上昇した場合に前記温度センサー3の抵抗の変化に対応して前記増幅回路24の増幅度を増大させる手段とを具備する。
請求項（抜粋）：
ガルバノメータのスキャンミラーをミラー駆動手段で駆動するビームポジショナにおいて座標データをD/A変換器に変換した電圧信号を制御部の増幅回路で増幅してドライブ信号として前記ミラー駆動手段に与えるビームポジショナの制御方式において、前記ビームポジショナの内部に配置され温度の変化によって抵抗が変化する温度センサーと、前記ビームポジショナの内部の温度が上昇した場合に前記温度センサーの抵抗の変化に対応して前記増幅回路の増幅度を増大させる手段とを具備するビームポジショナの制御方式。
IPC (5件)：
G02B 26/10
, B23K 26/00
, B23K 26/08
, G02B 27/00
, H01C 7/00
