特許
J-GLOBAL ID:200903090778607454
テープキャリアの欠陥検出装置および欠陥検出方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
半田 昌男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-179032
公開番号(公開出願番号):特開2000-009447
出願日: 1998年06月25日
公開日(公表日): 2000年01月14日
要約:
【要約】【課題】 正確かつ確実に、リードやリード間に生じた欠陥を検出するテープキャリアの欠陥検出装置を検出する。【解決手段】 テープキャリアCを撮影した画像信号に基づき、テープキャリアに形成されたリードの欠陥を検出する欠陥検出装置は、画像信号を二値化して、対応する画像データを生成する二値化手段と、所定数のリードをその幅方向に横断する長さと、所定の幅とを有するウィンドウを生成し、生成されたウィンドウに含まれる画像の画像データを抽出するウィンドウ形成回路64と、ウィンドウ内のリードの領域およびリード間の領域の面積値を算出するリード部/リード間領域算出回路66と、算出された面積値と基準値とを比較して、当該リード領域やリード間領域に生じた欠け、突起、ピットおよび残銅を検出する画像比較回路70とを備えている。
請求項(抜粋):
テープキャリアに形成されたリードの画像を取り込み、前記画像に基づいて、前記リード及びその近傍に生じた欠陥を検出するテープキャリアの欠陥検出装置であって、得られた画像を二値化して、対応する画像データを生成する二値化手段と、前記画像データに対して、一つ以上のリードをその幅方向に横断する長さと、所定の幅とを有するウィンドウであって、リードの長さ方向に順次移動するウィンドウを生成し、生成された各ウィンドウ毎に、そのウィンドウに含まれる画像の画像データを抽出するウィンドウ生成手段と、前記各ウィンドウ毎に前記ウィンドウ中のリードの領域の面積値を算出するリード領域算出手段と、前記算出されたリード領域の面積値とリード用基準値とを比較して、当該リード領域に生じた欠け、突起およびピットを検出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とするテープキャリアの欠陥検出装置。
IPC (4件):
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H01L 21/60 311
FI (4件):
G01B 11/24 K
, G01N 21/88 E
, H01L 21/60 311 W
, G06F 15/62 405 A
Fターム (53件):
2F065AA00
, 2F065AA58
, 2F065BB13
, 2F065BB15
, 2F065BB27
, 2F065CC27
, 2F065DD03
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
, 2F065MM22
, 2F065QQ05
, 2F065QQ24
, 2F065QQ36
, 2F065RR02
, 2F065RR06
, 2G051AA90
, 2G051AB20
, 2G051BA00
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA07
, 2G051CB01
, 2G051CD04
, 2G051DA01
, 2G051DA06
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA23
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051ED07
, 2G051ED14
, 2G051ED23
, 2G051FA10
, 4M105AA03
, 4M105CC03
, 4M105CC49
, 5B057AA03
, 5B057BA29
, 5B057CC03
, 5B057CE09
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB08
, 5B057DC04
, 5B057DC36
, 5B057DC39
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